中古 KLA / TENCOR UV 1050 #9152999 を販売中
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ID: 9152999
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Film thickness measurement system, 8"
(1) Process chamber
Summit software version: 2.23.05
FTML Version: 3.13.02
1996 vintage.
KLA/TENCOR UV 1050は、さまざまなウエハタイプとサイズの半導体デバイス測定用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、最新のHDx欠陥検査技術を搭載しており、クアッドサブ解像度イメージングと高度なアルゴリズム処理を組み合わせて、ウェーハの最小欠陥を検査します。このユニットはまた、3D計測機能を提供し、重要なプロセスステップ分析を可能にします。KLA UV 1050は、バックエンドの処理環境で使用するために設計されており、さまざまなサンプルタイプ、サイズ、構成をサポートする柔軟な設計です。254nmのUV光源を搭載したデュアルビームイメージングマシンを搭載しており、非常に小さな欠陥の検査と識別に最適です。このツールは、現在存在しない測定から、より複雑なオーバーレイ、サイドウォール、クリティカルな高さの測定まで、さまざまな欠陥検査と測定を提供します。TENCOR UV 1050には、3Dオーバーレイ、表面粗さ、ステップ高さ測定機能など、高度な計測機能も搭載されています。さらに、アセットの高速測定速度とメモリにより、迅速かつ正確なプロセス制御が可能です。このモデルは直感的なソフトウェアも提供しており、ユーザーは測定プロセスと設定を簡単に設定およびカスタマイズできます。UV 1050は、サイクルタイムの短縮、所有コストの削減、プロセス制御の強化、欠陥解析機能の向上など、半導体デバイスメーカーに多くのメリットをもたらします。さらに、機器の高度なHDx技術により、より正確な欠陥検出が可能になり、分析しやすい高コントラスト画像を作成できるという利点があります。全体として、KLA/TENCOR UV 1050はウエハテストと計測に最適なツールです。HDx欠陥検査、3D計測機能、直感的なソフトウェアなど、多くの高度な機能を提供しています。このシステムはバックエンドの処理環境に適しており、プロセス制御の強化、サイクルタイムの短縮、欠陥解析機能の向上を実現します。
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