中古 KLA / TENCOR UV 1050 #293762498 を販売中

KLA / TENCOR UV 1050
ID: 293762498
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR UV 1050は、半導体メーカーや研究室のための最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最大直径8インチの計測プラットフォームを備えており、一度に最大9個のウェーハに対応することができ、高度なマイクロチップ部品の効果的なテストと信頼性の高い測定を行うために設計されています。KLA UV 1050は、紫外線(UV)分光イメージング技術を使用して、構造の重要なパラメータを16nm以下のサイズで測定します。これらのパラメータの中でも最も重要なのは、抵抗やトランジスタなどの高性能な回路素子の品質と機能サイズ、および複雑な高度なパッケージング構造です。この精度は、高精度な輪郭と構造物の詳細な地形測定を可能にする、ユニットの高解像度イメージング技術で達成されています。このマシンには、複数の回折格子、高感度バックスキャッタ検出器、堅牢なエミッタンス源など、包括的な計測ツールが装備されています。これにより、回折限界イメージング、フルフィールドイメージング、膜厚、粒度、光学深度など、幅広いパラメータを測定できます。さらに、このツールのソフトウェアスイートには、強力な可視化ツール、自動欠陥レポート、高度な統計分析機能が含まれています。また、TENCOR UV 1050はロボットローディングの自動アセットを備えており、複数のウェーハを迅速かつ確実にテストおよび測定することができます。8インチおよび12インチの標準ウェーハに対応しているため、多くの一般的な生産ウェーハサイズとの互換性を維持できます。このモデルは、特許取得済みのセッティングモーションを使用して、測定前に光学系が整列していることを確認し、結果の精度を保証します。全体として、UV 1050は、現代の半導体メーカーや研究室にとって非常に貴重なウェーハ試験および計測機器です。最高性能のマイクロチップ部品の精度と精度を備えており、自動ローディングシステムにより、ウェーハテストと計測のプロセスを高速化できます。
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