中古 KLA / TENCOR UV 1050 #293750635 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
KLA/TENCOR UV 1050は、重要な半導体プロセスパラメータの正確な測定と監視を実現するために使用される高度なウェーハ試験および計測機器です。高速振動シャッターとレーザーアライメント技術を組み合わせることで、6軸ステージを自動化してマクロを正確に登録し、欠陥検査や複数のダイ強度のレビューに対応する高度で汎用性の高いユニットを実現します。高度なダイツダイ追跡や高速非接触計測などの機能により、機械は比類のない精度と再現性で半導体プロセスパラメータを測定することができます。このツールは、高出力紫外線照明下でトランジスタ、誘電体構造、銅インターコネクト、コンタクトパッド、深溝などの立体構造を検査することができます。KLA UV 1050は、10KピクセルのUV光源を含む高度な光学アセットと、エンコーダとステージコントローラの両方を搭載した高度なアライメントモデルを内蔵しています。CCDカメラを使用してデータをキャプチャし、12ビットのキャプチャ解像度、1ミリ秒未満の画像キャプチャ速度、および高精度のフォーカスを備えています。この機器には、自動アライメントとトラッキング、内蔵ビジョンセンサ、手動および自動化されたしきい値設定、画像キャプチャのプレビュー、高度な測定、分析、レポート機能など、精度を保証する多数の機能が含まれています。システムの自動運転は、プロセス最適化や欠陥位置評価などのカスタマイズされたアプリケーションを実行するようにプログラムすることもできます。TENCOR UV 1050は操作が簡単で、セットアップとオペレータの介入を最小限に抑えるように設計されています。高度な光学系、統合されたUV照明ソース、直感的なユーザーインターフェースにより、微妙で困難な欠陥をすばやく特定し、プロセス制御と歩留まり向上のための正確で信頼性の高いデータをユーザーに提供できます。
まだレビューはありません