中古 KLA / TENCOR UV 1050 #293733125 を販売中

ID: 293733125
ウェーハサイズ: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA/TENCOR UV 1050は、プレメタライズされた半導体ウェーハを試験および分析するために設計された、高度で高精度なウェーハ計測装置です。バックエンド突起後の処理やシリコンアーキテクチャの3D-ICなど、さまざまな集積回路(IC)プロセスの品質保証に最適です。このシステムは、ウェーハの高解像度画像と、潜在的な欠陥や誤動作を特定するために使用できる包括的な統計データを提供するように設計されています。KLA UV 1050は、ウェーハ表面の画像を個々の微細構造レベルまでキャプチャする非接触イメージキャプチャベースのユニットです。紫外線レーザー誘導蛍光(LIF)を使用してウェーハ表面を照らし、ウェーハの画像をサブミクロン分解能まで撮影します。これは、表面の欠陥を分析するために使用されます。機械にまた破片のある特定の位置に焦点を合わせ、あるかもしれない欠陥を検出できるレーザーがあります。TENCOR UV 1050は、1秒あたりの単一および複数の画像を生成することができます。複数のウエハを一度に監視するだけでなく、より迅速な欠陥検出にも役立ちます。また、さまざまなイメージングフィルタを搭載しており、さまざまな波長でウェーハの特徴を観察することができます。この柔軟性により、幅広いアプリケーション要件に適しています。UV 1050ソフトウェアは、このツールをオフラインとオンラインの品質管理の両方の目的で使用することができます。オフラインモードでは、ユーザーは個々のウェーハの画像を分析することができ、オンラインモードでは、生産ラインで複数のウェーハを自動的にリアルタイムで検査することができます。これにより、品質管理プロセスの効率を最適化し、高い歩留まり率を確保することができます。さらに、このアセットは高度な照明サブシステムを備えており、複数のタイプのスポットイルミネーションを生成することができます。これにより、平坦面と非平面面の両方、および非常に不均一な面のイメージングに適しています。これにより、スタックダイやその他の複雑なチップタイプだけでなく、3D-ICsを検査するための理想的なモデルとなります。結論として、KLA/TENCOR UV 1050は、ウェーハの正確な画像を生成するように設計された汎用性と信頼性の高いウェーハ試験および計測機器であり、広範なアプリケーションに必要な包括的な統計データです。その高度なイメージング機能に加えて、その複数の照明源とオンライン/オフライン操作は、テストと品質管理の目的のためのユニークで貴重なシステムになります。
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