中古 KLA / TENCOR UV 1050 #293704464 を販売中

ID: 293704464
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR UV 1050は、デバイス構造の信頼性の高い量子計測解析を提供するために設計された包括的なターンキー機器です。さまざまなウエハ特性を極めて多目的に制御することに加え、高い精度と再現性を提供します。KLA UV 1050は完全に自動化された計測システムで、ユーザーはオペレータの介入を必要とせずにデバイス構造を分析できます。このユニットは、ユニークで光学的にスキャンされた広い視野(LFOV)イメージング構成を使用して、これまでにないレベルのウェーハ特性評価を提供します。このマシンは、ポイントベースとラインベースの両方のマッピング技術を使用して、サブミクロントレンチ、柱、TSVインターコネクト、その他の導電経路などの幅広い機能からデータを収集できます。また、パーセンテージの縮小や展開の傾向に基づいて、狭いラインジオメトリを正確に特徴付けます。機械はオペレータ介入なしでウェーハの変更の正確な位置、形、サイズ、粗さおよび間隔を測定できます。さらに、潜在的な汚染を検出し、潜在的なウェーハの損傷をほぼリアルタイムで測定することができます。TENCOR UV 1050は、1つのパス内で複数の重要な測定ステップを提供する非常に効率的なツールです。これにより、分析時間が短縮され、顧客の要求を満たすための製品開発が迅速になります。高速ドリフト補正技術を採用し、通常のスキャンモードとナノスキャンモードの両方で超高解像度イメージングが可能です。UV 1050の柔軟性により、ユーザーは1つの資産で表面からバルクレベルの評価に簡単に切り替えることができます。ウェハレベルまたはデバイスレベルの欠陥分類と測定により、製品の歩留まりを最適化します。また、KLA/TENCOR UV 1050は、製品品質の向上と生産コストの削減を可能にするさまざまな高度な分析機能を備えています。このモデルには、いくつかの定性的および定量的な特性評価アルゴリズムと、欠陥の傾向を特定し、プロセス制御とウェーハ生産データを監視するための予測および分析モデリングが組み込まれています。KLA UV 1050は、堅牢で信頼性の高いウェハテストおよび計測機器であり、効率的なプラットフォームで幅広い機能を提供します。このシステムは、信頼性の高い結果を提供するために設計されており、ユーザーはデバイス構造をよりよく理解し、より高い歩留まりとより良い製品品質のためにプロセスを最適化することができます。
まだレビューはありません