中古 KLA / TENCOR Therma-wave OP 3290DUV #9139673 を販売中

KLA/TENCOR Therma-wave OP 3290DUVは、ウェーハの均一性を正確かつ迅速に測定し、正確な出力を保証する最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは、非常に低い所有コストで優れた精度を提供するウェーハオプティカルプロファイラです。それは肯定的な（上げられた）および否定的な（沈められた）表面のあらゆるタイプのウエファーを、適用の広い範囲のための厳密な測定を保証するために読むことができる独特な利点を提供します。Therma-waveは、高度な波長選択とスイープ光学を利用して、赤、緑、UVの3つの光度信号を収集します。高度な光学系は、パターニングのバリエーションを最小限に抑え、高分解能で安定した測定を提供します。次に、3つのフォトメトリック信号を収集して分析し、ウェーハの条件に関する情報を提供します。このシステムでは、デュアルブルーライトプローブ技術とトリプル波長パワーアベレージング技術を使用して、最適な測定を行い、ウェーハを測定する際にヒューマンエラーの可能性を排除します。これにより、あらゆるタイプのウェーハで最大0。5umの精度が保証されます。また、KLA Therma-wave OP 3290DUVは、安全で長期的な精度のために振動を最小限に抑える精密制御されたエアベアリングオンガラスユニットを使用しています。このマシンには完全に自動化されたウェーハハンドリングが付属しており、手動で作業することなく、最大20個のウェーハを同時にテストできます。これにより、ウェーハテストの成功を保証する精度で高速な出力レートを実現します。ウェーハテストの重要なデータは、複数の言語で利用可能な分析ソフトウェアによって処理されます。ソフトウェアは、品質と歩留まりの最適化の客観的な評価を提供するために、詳細な品質保証レポートを作成することができます。さらに、このソフトウェアは自動学習と自己補正モデルを備えており、データが正確でエラーがないことを保証します。TENCOR Therma-wave OP 3290DUVは、あらゆるウェーハの正確な測定を保証する理想的なソリューションです。高度な光学選択、高精度制御エアーベアリングオンガラスツール、自動化されたウェーハハンドル、多言語対応のソフトウェアにより、このウェーハオプティカルプロファイラは、所有コストを最小限に抑えながら、迅速で正確なウェーハテストとデータ処理を提供します。