中古 KLA / TENCOR TF-2 #136452 を販売中
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KLA/TENCOR TF-2は、半導体産業のための高度なウェーハ試験および計測システムです。高品質なチップを効率的に生産する可能性の高いウェーハの検査、測定、分析を自動化したソリューションです。KLA TF-2は、高度な検出およびイメージングシステムを使用して、包括的な検査、分析、計測ツールを提供します。このシステムは、高解像度の光学スキャンとイメージングを使用して、ナノメートルレベルの異常なパターンと欠陥を検出します。また、高精度の高さプロファイルを提供するための飛行時間プロフィロメーターと干渉計を備えているため、0。5ナノメートルの小さな規則的および不規則な地形を検出することができます。検査データをリアルタイムに収集、分析、評価し、迅速かつ正確なプロセス制御を実現します。TENCOR TF-2は、重要な汚染、品質および歩留まりデータの自動取得および分析を可能にし、処理およびデータ入力エラーをほぼ排除します。このシステムには、同じタイプの欠陥の比較、包括的な特徴認識、エッジおよびプロファイル測定、ひずみマップのオーバーレイおよびシンクイン測定、および応力および欠陥密度推定のための高度なソフトウェアが含まれています。TF-2には、自動化されたビンQC/QA、バッチ制御機能、およびウェハレベルの最終レビューも備えています。KLA/TENCOR TF-2は、単一のマシンで高度な機能を提供し、工業用および材料用途向けのかなり完全なソリューションです。検査時間の比較的高速化、歩留まりとプロセス制御の向上、優れた精度と再現性、総所有コストの削減を実現します。その速度と信頼性は、高収率の半導体生産プロセスにおいて好ましい選択肢となります。
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