中古 KLA / TENCOR Surfscan AIT #9155784 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan AITは、高速および高速スループットのウェーハ検査および計測作業用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。簡単な欠陥検査から複雑なプロセス制御システムまで、さまざまなアプリケーションに適しています。このシステムは、高度なハードウェアユニット、統合ソフトウェアマシン、オプションのアクセサリなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。ハードウェアコンポーネントには、照明、対物レンズ、および検出器アセンブリが含まれており、欠陥検出、計測、およびその他の検査のためにウェーハの画像をキャプチャするために使用されます。検出器アセンブリは、アプリケーションに応じて高速CCDまたは高感度CCDで構成されています。このソフトウェアツールは、強力で直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と、さまざまなウエハ欠陥を検査するための幅広い自動欠陥検査アルゴリズムで構成されています。GUIは、最適な欠陥検出のためのユーザーフレンドリーな操作を容易にするように設計されています。ソフトウェア資産は、高度な渦電流イメージングと強力な統計プロセス制御（SPC）および測定プロセス特性評価（MPC）機能をサポートし、測定性能を向上させます。KLA Surfscan AITモデルには、他のウェーハ検査および計測システムよりも明確な利点を与えるいくつかの操作機能があります。1時間あたり最大300mmの超高スループットを実現し、プロセス要件の変化に合わせて素早く再構成することができます。また、パターンウェーハ、3D構造、集積回路に特化した高精度な測定も可能です。この機器は、高度で正確なハードウェアおよびソフトウェアパッケージと、産業用グレードの使いやすさを兼ね備えており、迅速で正確で費用対効果の高いウェハテストを実現します。複数のアプリケーションノード間でインラインメトロロジーと欠陥検査を同時に提供し、包括的な検査カバレッジとリアルタイムプロセスの最適化を実現します。さらに、一般的なオートメーション制御ソフトウェアであるSemi-AUTOgonous FABrication （SAF）システムとの互換性により、TENCOR Surfscan AITシステムの使用がさらに魅力的になります。Surfscan AITユニットは、最新のウェーハ生産の複雑さを克服するために必要な速度と精度を提供する包括的で費用対効果の高いウェーハテストおよび計測ソリューションです。高度なハードウェアおよびソフトウェア機能により、正確で信頼性の高い結果が得られ、重要なプロセス制御および監視タスクに最適です。