中古 KLA / TENCOR Surfscan AIT #293807117 を販売中

KLA/TENCOR Surfscan AITは、最先端の非破壊検査および計測機器です。ウェーハの電気特性と物理特性を測定し、業界標準を満たすことができます。このシステムは、レーザー干渉計、レーザービーム脱着、プロセスサイズ変位測定などの高度な技術を使用して動作します。これらの技術により、ウェーハの表面形状と膜厚を正確に測定することができ、正確なダイレベルの製品品質評価と歩留まりの最大化が可能になります。このユニットは、ウェーハチャッカー、プローブ、アクチュエータの3つの基本部品で構成されています。ウェーハチャッカーは、試験対象のウェーハを所定の位置に保持し、機械の出し入れに使用する精密機器です。プローブは、誘電率、電気特性、シート抵抗などのウェーハの電気特性を検出および測定するために使用される特殊な操作装置です。アクチュエータは、ウェーハの表面上にプローブを移動させ、膜厚、プロファイル深さ、表面コントラスト、平坦度などの特性を測定するために使用される精密モータ駆動部品です。ツール全体がコンピュータコントローラを介して動作し、柔軟で直感的なユーザーインターフェイスを提供します。また、コンピュータコントローラにより、特定のテスト要件を満たすようにアセットを簡単に設定できます。さらに、コントローラは包括的なデータストレージと分析モデルを提供し、テスト結果の詳細なレビューを可能にします。この装置は、さまざまなウェーハサイズ、厚さ、材料、および測定アプリケーションのさまざまなレベルの複雑さに対応するように設計されています。また、複数のメモリテストを一度に実行できるため、テスト時間を大幅に短縮できます。高精度で高速なため、半導体リソグラフィ用途に最適なソリューションです。全体として、KLA Surfscan AITは業界をリードするウェーハテストおよび計測システムです。最新の技術とユーザーフレンドリーなインターフェースを組み合わせ、高速で信頼性の高い正確な結果を実現します。TENCOR Surfscan AITは、半導体業界においても、新製品の開発においても、ウェハテストや計測ニーズに最適な選択肢です。