中古 KLA / TENCOR Surfscan AIT #293750395 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
KLA/TENCOR Surfscan AITは、半導体メーカーがウェーハおよび構造の特性を迅速かつ正確にテストおよび測定できるように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムの主な構成要素は、光学顕微鏡、CCDカメラ、多種多様なハードウェアおよびソフトウェアモジュール、およびプロセスパラメータコントローラです。光学顕微鏡は、高度な光学ズーム機能とウェーハ上の顕微鏡の特徴を表示するための再構成可能な照明ユニットを内蔵しています。CCDカメラを使用して、検査中のウエハや構造物の高解像度画像をキャプチャできます。このマシンには、さまざまなスケールで寸法を測定するための統合計測ツール、製造工程でのパターニングウエハのリソグラフィ資産など、さまざまなハードウェアモジュールも含まれています。ソフトウェアの面では、KLA Surfscan AITには、データを収集、分析、表示するために設計された多数のアプリケーションが含まれています。TENCOR Surfscan AITを使用して、マイクロチップウェーハの完全性を評価し、抵抗性を測定し、汚染を検出し、構造や特徴の重要な寸法（CD）の変動を測定することができます。Surfscan AITには、欠陥を認識し、迅速なソートと資格を実行する機能もあります。内蔵のプロセスパラメータコントローラにより、プロセスおよび運用パラメータのリアルタイム制御が可能です。さらに、KLA/TENCOR Surfscan AITには、高度なデータ収集、分析、レポート機能が含まれています。このモデルは、自動目視検査、複雑なデータ分析、ソフトウェア定義のメトリックなど、さまざまなデータ収集方法を使用して、各テストおよび測定から得られたデータを収集および分析します。このデータは、製造業者がウェーハや構造の性能を評価するために使用できるレポートにまとめられています。KLA Surfscan AITは、半導体製造のための大量生産ラインでの使用のために設計されています。ハードウェアとソフトウェアモジュールを強力に組み合わせ、ウェーハや構造を迅速かつ正確にテストおよび測定することができるため、ウェーハのテストや計測に最適です。
まだレビューはありません