中古 KLA / TENCOR Spectrashape 8810 #9384659 を販売中

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ID: 9384659
ウェーハサイズ: 12"
System, 12" (3) Load ports Chamber Lamp: 8kW.
KLA/TENCOR Spectrashape 8810は、様々な材料や用途のための高性能の光学計測と反射率と画質の検査のために設計された高精度のウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、Czerny-Turner分光計、光源、CMOS検出器、フィルタなどの多数の光学部品が装備されており、高度な光学解析および測定機能を可能にしています。光学ユニットは、2次元画像の高精度イメージングとリアルタイムでスペクトルの記録を可能にする2つの独立した光路で設計されています。また、高精度の高精度なステージと高速スキャン速度を備えているため、広範囲のウェーハ上で拡張テストシーケンスを迅速に実行できます。KLA Spectrashape 8810は、ウェーハ欠陥評価および検査、非破壊検査、欠陥位置および解析、光学特性評価、および膜厚測定など、さまざまなアプリケーションに使用できます。また、レーザートラッキング、ダークフィールドイメージング、粒子分析など、さまざまな自動測定機能も提供しています。高度なソフトウェアにより、フィルムの均一性、コーティングの均一性、ウェーハワープなどのウェーハ欠陥をすばやく評価することができ、また、クリア、分離、識別可能な欠陥領域を識別することができます。全体的に、TENCOR Spectrashape 8810ツールは、さまざまな材料および用途において効率的で正確で信頼性の高い測定を提供します。高精度の光学アセットと自動テスト機能により、ウェーハの構造や欠陥を迅速かつ容易に評価でき、新しいプロセスや技術の開発が可能になります。
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