中古 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #9223300 を販売中

KLA/TENCOR SpectraShape 8660は、半導体ウェーハの電気的、光学的、機械的特性を測定するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。直径8インチまでの半導体ウェーハを正確に測定することができ、ウェーハの品質を決定する信頼性が高く、再現性があり、費用対効果の高い手段を提供します。8660は、独自のマルチセンサ技術を使用して、半導体ウェーハからデータを収集します。このシステムは、プローブ、光学ヘッド、および統合された電気テストエレクトロニクスで構成されています。プローブはピラミッドプローブアレイで構成されており、ウェーハ上で最大8箇所に同時に接触することができ、手動または自動化されたプロセスで使用することができます。プローブは、電気抵抗と静電容量の変化を検出するだけでなく、ウェーハ表面の2次元イメージングを提供することができます。光学ヘッドは光学顕微鏡を提供し、表面の欠陥、汚染物、または物理的特性の変化を検出する高解像度の画像を提供することができます。統合テストエレクトロニクスは、キャリア移動性、電気特性、欠陥などの半導体の電気パラメータの測定を処理します。また、KLA SpectraShape 8660は、ウェーハ間の比較、パターン認識、故障解析を可能にする広範なデータ解析機能を提供します。8660の拡張可能な統合レイヤーにより、視覚欠陥検査、フォトマスク検査、自動化されたITO/ICPテストなどの追加のテストプロセスをユニットに統合できます。独自のマルチセンサ技術と高度なデータ解析機能を備えたTENCOR SpectraShape 8660は、半導体ウェーハ製造設備に最適なウェーハ試験および計測機です。包括的なウェーハテストと計測を提供し、製品の品質を確保し、コスト効率の高い方法でリスクを低減します。