中古 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #293630250 を販売中

KLA/TENCOR SpectraShape 8660は、ウェーハの欠陥を検査するために使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、高解像度の非接触2D測定と3D測定の両方を提供する干渉計が装備されています。ウェーハは4軸調整段に取り付けられ、迅速なナビゲーションと正確な位置決めが可能で、欠陥サイズ、輪郭プロファイル、平坦度などのパラメータを測定できます。このユニットは、6インチ（標準）および8インチ（オプション）ウェーハを含むさまざまなコンポーネントで、最大0。1nm （0。02nm）の再現性が可能です。KLA SpectraShape 8660には、結果とワークフローを改善するさまざまな利点機能があります。これらには、欠陥のレビューと修正のための非接触計測（NCM）ツールを備えた自動非接触2D（高さ）測定機が含まれます。このアセットは、より速く、より効率的な操作のためのオートフォーカス機能も提供します。さらに、プラットフォームには、さまざまな欠陥を迅速に特定して対処するための高度なワンボタン欠陥レビューモデルも装備されています。包括的なデータ管理機器は、すべての結果の保存、分析、アーカイブを容易にします。さらに、このシステムには柔軟なテストプロトコル開発オプションが装備されており、ユーザーはテストをガイドするカスタムアルゴリズムを作成できます。オペレータは、さまざまなインタラクティブな3Dビジュアライゼーションでデータを表示し、品質管理を支援するためにデータプレゼンテーションをカスタマイズすることもできます。TENCOR SpectraShape 8660は、ウェーハテストと計測の分野で時間と労力を節約できる汎用性の高いツールです。その機能とオプションは、再現性のある結果で高精度な測定を提供します。さらに、組み込みのデータ管理およびテストプロトコルの開発により、運用の簡素化、効率と精度の向上、コストの削減に役立ちます。