中古 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #293587780 を販売中

KLA/TENCOR SpectraShape 8660は、幅広いウェーハ計測要件に適した高度なウェーハ試験および計測機器です。優れた精度、再現性、スループットを提供し、正確なウェーハ測定および検査に最適なソリューションです。KLA SpectraShape 8660は、最大125 μ mの精密な表面測定用に設計された自動高解像度システムです。AutoScanという表面計測干渉測定技術を使用して、測定と検査の精度を保証します。この技術は、ウェーハを非常に密接な間隔でスキャンし、複数の波長を使用して測定データを生成することによって機能します。このユニットは、パターン化されたトレンチの深さ、ゲートギャップ、直径および接触穴のサイズなど、さまざまな重要なパラメータを測定できます。TENCOR SpectraShape 8660には、結果を表示するための大型の高解像度VGAディスプレイが装備されています。強力な内部データ処理機能を備えており、データを迅速に分析して提示することができます。このマシンはまた、さまざまなプローブオプションとオペレータのアクセスと精度を支援することができます高度なCCDカメラをサポートしています。KLAはSpectraShape 8660の付加価値機能も提供しています。これらの1つは独自の「Spectronet」ソフトウェアで、ユーザーは複数のサイトでデータを簡単に作成、監視、レビューできます。このソフトウェアは、リモートのワークステーションとデータを共有し、レポートのリモート・レビューを容易にすることができます。KLA/TENCOR SpectraShape 8660は使いやすく、維持するように設計されています。そのソフトウェアインターフェイスは直感的であり、メンテナンスルーチンは簡単です。全体的に、このツールは、さまざまなウェーハ計測要件に費用対効果が高く、信頼性が高く、正確なソリューションを提供できます。