中古 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #9375219 を販売中
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ID: 9375219
ヴィンテージ: 2010
Film thickness measurement system
Process: Metrology
2010 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 200は、半導体製造に使用される自動ウェーハ試験および計測機器です。半導体ウェーハの様々な物理的・光学的特性、および既存のデバイス構造に関する情報を測定・収集するために設計されています。このシステムは、KLA独自の3Dスキャン技術を使用して、直径200mmまでのウェーハを正確にスキャンします。2つの内蔵センサ（リニアアレイ検出器とデュアル反射検出器）により、ウェーハ上の表面および機能の完全かつ強化された計測が可能になります。KLA Spectra FX 200は、幅広い機能と機能を提供します。優れた再現性と精度（最大0。5ミクロン）を有し、高照度と低照度の両方でウェーハからデータをキャプチャすることができ、複数のスキャンモードを提供し、さまざまなウェーハサイズのテストを可能にします。このユニットは、スループット速度を向上させ、振動を最小限に抑えるように設計された精密ステージを利用して、コストと時間を効率的に設計されています。TENCORユーザーフレンドリーなソフトウェアは、自動アライメントとトラッキング、自動スキャン/測定/レポートの実行、ハードウェア/ソフトウェアの統合など、さまざまな機能と利点を提供します。画質を向上させるために、TENCOR Spectra FX 200はオートフォーカスツール（AFS）と呼ばれる革新的なフォーカシングマシンを備えており、フィードバックループを使用して装置の焦点を自動的に調整し、結果の高精度と精度を保証します。Spectra FX 200は、データの収集と分析に役立つツールも提供します。データはリアルタイムで収集され、将来の参照または処理のために自動的に保存されます。インポート/エクスポート機能も利用できます。この資産は、カメラ、レーザー、顕微鏡などの周辺機器と統合することができます。全体として、KLA/TENCOR Spectra FX 200は、半導体製造用に設計された高度なウェーハ試験および計測モデルです。独自のスキャン装置とAFSやデータ解析ツールなどの機能により、高度な半導体デバイスの開発と洗練を支援する強力なツールです。
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