中古 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #9205856 を販売中

KLA/TENCOR Spectra FX 200は、ウェーハ材料の偏光、スペクトル含有量、光学品質を測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハの品質管理や高スループットのスクリーニングから、曲面上のコーティングの光学特性の決定まで、幅広い用途に対応する汎用性の高いソリューションを提供します。ユニットにはモジュラー設計があり、ユーザーは独自の要件に基づいてカスタマイズすることができます。機械は毎秒50テストまで可能であり、データを記録し、分析するためのソフトウェアが装備されています。高度なイメージングと光学部品により、ウェーハ表面全体を1枚の画像でキャプチャし、完全なスペクトル情報を得ることができます。KLA Spectra FX 200は、さまざまな性能仕様に合わせてカスタマイズすることができます。8インチアングルウォールアダプター、分光計モジュール、2つの異なる偏光板、XYZポジショナー付きアライメントアーム、ソフトウェアモジュール、および完全なXYZ回転ステージが装備されています。Illumination/Optics Bridgeは、光源のカスタマイズを可能にし、ユーザーは画像の明るさ、コントラスト、色度、色合いの調整を調整して操作することができます。さらに、光学テーブルにはXYZステージを円滑かつ正確に翻訳するためのエアベアリングベースがあり、タッチスクリーンインターフェイスはツールを完全に制御して正確な結果を保証します。TENCOR Spectra FX 200には、高度なレポートおよび分析機能も含まれています。このソフトウェアは、ハイコントラストおよびローパスフィルタを使用して欠陥を識別することができます。Dark Field Imagingモジュールは、ウェーハ表面を最大1m離れた場所から遠隔撮影することができ、スペクトル解析とレポート生成を内蔵して光学的品質と欠陥を評価することができます。このような優れた機能と柔軟性を備えたSpectra FX 200は、正確なウエハテストと品質管理を必要とする人々にとって不可欠なツールです。