中古 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #293712932 を販売中
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ID: 293712932
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
Thickness measurement system, 8"
Upgraded from F5X
Single open handler
BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-212B-S293 Controller
Signal tower
XENON Arch Lamp source
Options:
SE
DBS
GEM / SECS and HSMS
Operating system: Windows XP
Power supply: 220 V, Single phase, 3 Wire, 15 A, 50/60 Hz
2000 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 200は、最先端の半導体デバイスの歩留まりと信頼性を向上させるために設計されたウェーハ試験および計測機器です。複数の先進技術を組み合わせ、光学計測、欠陥イメージング、インライン電気試験など、半導体製造の包括的なソリューションを提供しています。KLA Spectra FX 200は柔軟でスケーラブルなプラットフォームで、幅広いデバイスの効率的で正確なテストを可能にします。このシステムは、ビーム傍受と高度なアルゴリズムのユニークな組み合わせを使用して、断面積を正確にマッピングするだけでなく、生産速度でのインタフェース欠陥も使用します。また、統合されたインライン電気試験機能を搭載しており、直径4インチまでのウェーハの試験が可能です。これにより、ウェーハテストや計測作業に最適でありながら、高速かつ高精度な測定が可能です。光学計測機能に加えて、TENCOR Spectra FX 200は強力な欠陥検査機も提供しています。内蔵のスマートディフェクトイメージングモジュールは、複数の精密カメラと軽量エンジンを使用して、高精度で最大8ミクロンの深度までの欠陥を検査および分析します。これにより、潜在的な歩留まり制限欠陥を迅速に検出できます。Spectra FX 200は、高度な欠陥認識機能も備えています。このツールのアルゴリズムは、誤検出を最小限に抑え、最適な歩留まりを保証する方法で欠陥を識別および分類するように設計されています。これにより、問題が特定された欠陥のみが確実に確認され、ユーザーはそれらに対処するための適切な措置を講じることができます。KLA/TENCOR Spectra FX 200のパフォーマンスは、統合されたユーザーインターフェイスによって支えられています。このグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用すると、テストプロセスの任意の時点からテスト結果をすばやく取得、表示、分析できます。これにより、情報へのアクセスが容易になり、精度と効率が向上します。KLA Spectra FX 200は、強力で汎用性の高いウェーハテストおよび計測資産です。これは、高度な技術と包括的な機能セットのユニークな組み合わせを提供し、ユーザーに高収量の半導体デバイス生産のための効率的で信頼性の高い正確なソリューションを提供します。
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