中古 KLA / TENCOR SP1-TBI #9250876 を販売中

KLA/TENCOR SP1-TBIは、自動欠陥検出を提供するマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、充電された結合デバイス（CCD）画像検出器を含む光学ヘッドで構成され、ウェーハまたはマスクから高解像度の画像と回折データを取得します。取得したデータを専用の画像解析ソフトウェアで解析し、エンジニアがウェーハの欠陥を検査することができます。KLA SP1T-BIユニットは、操作者に使いやすいユーザーインターフェイスを提供し、ナビゲートと操作が簡単になります。このマシンは、単一のダイ、複数のダイ、またはウェーハ全体を検査するようにプログラムすることができます。darkfield、 brightfield、 contour illumination、 polarizer、 filterなどのさまざまな照明オプションとともに、高解像度イメージング用の強力なCCD検出器を備えています。これらの機能により、ナノスケールサイズからマクロスケールまでの機能を解析できます。TENCOR SP1 TBIは、検査を実施する際にすべてのサンプリング要素を考慮します。自動化された欠陥検出ソフトウェアは、潜在的な欠陥がランダムな粒子か、ヒロックやビアなどの特定のプロセス生成機能かを判断します。サンプルは、将来の参照または詳細な分析のためにアーカイブすることができます。KLA/TENCOR SP1 TBIにはオプションの統合光学プロフィロメータもあり、さらに機能を強化します。プロフィロメータは、不良を解析する際の高度な地形測定と形状測定を可能にし、より良い欠陥分類を可能にします。TENCOR SP 1 TBIの統合ソフトウェアは、階層型の欠陥分類に加えて、広範なセットアップおよびレポート機能を提供します。これらの機能により、欠陥の検査と特性評価に要する時間が短縮されます。さらに、さまざまな内蔵レポートテンプレートにより、検査結果を迅速かつ簡単に報告できます。KLA SP1 TBIはまた、CameraLinkやEthernet通信などの高度なツールと、多数のインタラクティブツールを提供しています。これにより、欠陥の検査や特性評価に要する時間をさらに短縮できます。要約すると、KLA/TENCOR SP 1-TBIは信頼性が高く効率的なマスクおよびウェーハ検査ツールです。このアセットは、ユーザーに堅牢な機能を提供し、高解像度のイメージングと自動欠陥検出を可能にします。その統合されたプロフィロメーターは、高度な地形測定と形状測定により、より良い欠陥分類を提供し、その機能をさらに強化します。ユーザーフレンドリーなユーザーインターフェイスと豊富なレポート機能により、SP1T-BIは高精度のマスクとウェーハの検査と特性評価に最適です。