中古 KLA / TENCOR SLF17 #293809082 を販売中

KLA/TENCOR SLF17は、ウェーハ特性の測定および分析を行うために設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。自動化されたウェーハプロービングステーションの機能と、光学顕微鏡、スキャン電子顕微鏡、楕円計、フーリエ変換赤外線分光計などの計測機器を組み合わせた統合システムです。KLA SLF17にはSmartScan T2000 Advanced Wafer Proberが2つ搭載されており、接触抵抗の測定からショートパンツや開口部まで、さまざまなウエハプロービングおよびテスト操作を実行できます。ウェーハプローバは傾斜した光学テーブルの下に取り付けられており、様々な計測機器の基盤となっています。このユニットには、プローブアライメントステージ、4つのZステージ、蛍光照明マシン、4つの角度ステージ、4つの温度コントローラ、およびイメージング用のCCDカメラも含まれています。Z-StagesとAngle Stagesは、ウェーハ上のサンプルの表示とイメージングのための計測器を配置するのに役立ちます。各計測器はXYZ変換ツールにマウントされ、ウェーハ全体の位置決めが可能です。このアセットは、計測器を自動的に認識して切り替えることもできます。TENCOR SLF17にはトランスポートモデルも含まれており、異なる計測機器間のサンプルのカセット間の自動転送を可能にします。この装置のハイライトの1つは高速動作であり、各テストはほんの数秒で行われます。このシステムは、光学イメージング、AFM（原子力顕微鏡）、ラマン分光、楕円測定、エッチング速度解析、透過電子顕微鏡など、さまざまな計測試験を実行することができます。さらに、SLF17は様々なデータ計算機能を提供しており、お客様は測定結果をよりよく理解することができます。データ計算アルゴリズムは、CD（臨界次元）やドーパント濃度などの物事を分析するために使用することができ、ウェーハプロセスへの貴重な洞察を提供します。このユニットはまた、ユーザーが特定のテストおよび計測要件に応じて自分のマシンをカスタマイズすることができます機能と機能の広い範囲を備えています。さらに、KLAは広範なトレーニングとサポートを提供し、ユーザーがこのウェーハテストおよび計測ツールの可能性を最大限に引き出すことができるようにします。