中古 KLA / TENCOR SFX 200 #293761849 を販売中

KLA / TENCOR SFX 200
ID: 293761849
ウェーハサイズ: 12"
Thickness measurement system, 12" 2005 vintage.
KLA/TENCOR SFX 200ウェハテストおよび計測機器は、小規模および大規模な半導体ウェハの検査、テスト、および大規模分析のために設計された、完全に自動化された多機能システムです。このユニットは包括的な測定機能を提供しており、さまざまなマルチレベルの組み込みメモリアーキテクチャを含む幅広いウェーハでさまざまなパラメータとアプリケーションを実行できます。KLA SFX 200は、強力な4 チャンネルカラーCCDカメラと高解像度の大判カラーモニターを使用して、機械の動的でリアルタイムのフルフレームイメージング機能をサポートします。これにより、テストと測定を1桁のミクロン単位で行うことができ、あらゆるレベルの複雑さでのウェーハの詳細な検査が可能になります。CCDカメラに加えて、TENCOR SFX 200には、モーター式、マルチフィットZ軸、オートフォーカス、アライニングサブシステムなどの精密光学部品も含まれています。Z軸プラットフォームは、直径数ミリから12インチまでのさまざまなウェーハサイズの測定と検査を可能にするために調整することができます。SFX 200のX軸とY軸も調整可能で、最適なウェーハアライメントが可能です。また、線幅、線間隔、欠陥解析、インピーダンスなどの特徴を識別および測定するために設計された高度なアルゴリズムも備えています。さらに、KLA/TENCOR SFX 200には、ウェーハアライメントや欠陥解析などの一般的なタスクを自動化するためにカスタマイズできる追加のマクロスクリプトツールが多数付属しています。これにより、ウェーハの組成、欠陥、地形などのパラメータを迅速かつ正確に分析できます。KLA SFX 200は、さまざまなウェハマッピングシステムとの統合にも対応しており、フォトリソグラフィ装置やその他のウェハ処理システムとの併用が可能です。これにより、ユーザーはウェーハテストアセットからのテスト結果を素早く簡単に相関させてパラメータを処理することができます。要するに、TENCOR SFX 200は、多種多様な半導体ウェーハで高速かつ正確な試験と計測を提供するために設計された強力で正確なモデルです。リアルタイムイメージング機能、モーター式、マルチフィットZ軸、カスタマイズ可能なスクリプトツールにより、あらゆるサイズのウェーハに最適なツールです。さまざまなウェハマッピングシステムと高度な欠陥解析機能を統合したSFX 200は、半導体製造のプロセスフローを最適化するための理想的な選択肢です。
まだレビューはありません