中古 KLA / TENCOR SFX 100 #9249578 を販売中

KLA/TENCOR SFX 100は、基板および薄膜の自動試験および分析を提供するウェーハ試験および計測システムです。このシステムには、イメージングおよびフィルム計測用の光学モジュールと、高解像度の電気試験用のエレクトロニクスモジュールの2つの主要コンポーネントがあります。光学解析のために、KLA SFX 100は周波数調整された「広視野」顕微鏡を備えています。これにより、大きなウェーハ表面の非接触、非破壊画像を作成できます。地形や微細構造など様々なパラメータを見ることができます。ある特定の付属品の付加によって、それはフィルムの厚さおよび粒度を測定できます。エレクトロニクスモジュールは4つの別々の楽器で構成されています。これには、高周波信号を測定するためのレーザー干渉計と電圧プローブ、および特定の領域における基板の横方向の電気特性を測定するためのスキャナー段と圧力スキャナが含まれます。このモジュールは、基板の抵抗、およびデバイスの容量と電流の流れを測定するために使用できます。TENCOR SFX 100は、デバイス、基板、およびフィルムの高速で自動解析を提供します。プローブやアクセサリの選択だけで制限された幅広いパラメータを素早く正確に測定できます。薄膜デバイスの高速試験に適しており、ウェーハの電気的、光学的、構造的特性に関する詳細な洞察を提供します。