中古 KLA / TENCOR SFS 7600 #293808150 を販売中
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KLA/TENCOR SFS 7600は、幅広い半導体ファブやファウンドリでの高性能を目指して設計されたウェハテストおよび計測機器です。多段検査、高密度ウエハマッピング、高度な欠陥検出など、さまざまな高度な機能ソリューションを備えています。このシステムは、フルウェーハまでのさまざまな形状とサイズのサンプルを分析することができます。KLA SFS 7600は、アナログ回路とデジタル回路の両方、およびダイの物理寸法の検査と測定を支援するように設計されています。光学顕微鏡を搭載し、超高解像度での画像検査が可能です。検査可能領域は300mm x 220mmで、追加の基板を使用して拡張することができます。さらに、光学フィルターセット、特殊な試験技術、プローブの品揃えなど、さまざまなハイエンドアクセサリーを組み込むことで、さまざまな複雑な検査アプリケーションに合わせて調整することができます。また、TENCOR SFS7600には最先端の計測機能が搭載されており、ウェーハ表面の物理的特徴を正確に測定できます。これには、チャックとステージの正確なアライメントと、カスタムデザインのオートフォーカスソリューションが含まれます。このツールは、複数のステージ測定を実行することも可能で、ユーザーは埋め込まれた層の特性を分析し、自己組織化メッシュのような複雑な構造を調査することができます。さらに、アセットの校正も可能で、ユーザーはさまざまな条件で正確な結果を得ることができます。このモデルは、検査プロセスを合理化するために使用できる一連の自動欠陥レビューソリューションも提供しています。この機器は、カスタマイズ可能なレポートを生成し、グラフィカルに正確な欠陥の画像を提供し、その後のレビューのために欠陥データを分離および保存できます。さらに、SFS7600には複数の統計解析ソリューションがあり、潜在的な歩留まり削減傾向を正確に特定できます。全体として、KLA/TENCOR SFS7600は、最高解像度で正確なデータを提供することができる汎用性の高いウェーハテストおよび計測システムです。高度な技術、自動化されたツール、カスタマイズ可能なレポートを組み合わせることで、半導体ファブやファウンドリにとって貴重なソリューションとなります。
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