中古 KLA / TENCOR SFS 7600 #293645416 を販売中

KLA/TENCOR SFS 7600は、高性能ウェーハ検査および分析用に設計された次世代ウェーハ試験および計測機器です。スケーラブルでモジュラー型のプラットフォームで、シリコン、化合物半導体、有機などさまざまな基板をサポートし、幅広いテスト構成を備えています。システムは、クリティカル/全体寸法（CD/OD）またはクリティカル寸法の小さな角度/CDSA、 マルチダイ/CDMD、およびミスアライメント/オーバーレイを測定するように設定できます。このユニットには、高度な光学、高解像度画像解析、および最大5nmの解像度で欠陥を検出および特性評価する自動ビジョンベースのテスト機能が装備されています。また、4次元レーザースキャン顕微鏡、光学および走査型電子顕微鏡、一般的な光学システムなどの計測ツールを統合し、エッジ分解能やその他の重要な基板の測定を可能にします。また、KLA SFS 7600は、ウェーハレベルの計測および試験機能（ウェーハストレス/ひずみおよび電気測定、光学臨界寸法（OCD）測定、熱残留応力測定など）にも対応しています。また、ターゲットサンプリングや自動パターン認識などのスマート分析ツールの高度なポートフォリオや、効率的かつ正確な結果を保証するための幅広い自動テストおよびデータレポートプロセスも提供しています。この機械は、研究や自動車から航空宇宙、家電まで、さまざまな産業用途での使用を想定して設計されています。高品質の画像、高度な処理、欠陥の識別と特性評価のための正確なデータを提供し、製品の品質、プロセスの均一性、歩留まり制御を保証します。TENCOR SFS7600は、構成可能で使いやすいだけでなく、他のウェーハテストシステムやエンタープライズソリューションとシームレスに統合して、包括的なデータ管理とトレーサビリティを実現します。