中古 KLA / TENCOR SFS 7200 #72754 を販売中

KLA / TENCOR SFS 7200
ID: 72754
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 1991
Surface inspection systems, 6"-8" 1991 vintage.
KLA/TENCOR SFS 7200は、半導体デバイスの市場をリードするテストおよび分析を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、自動化されたウェーハクリーニング、テスト、および計測機能の比類のない組み合わせを提供し、ユーザーはプロセス制御と製造の課題にさらに正確かつ一貫して対処することができます。KLA SFS 7200は、電気計測と光学計測の両方に完全に自動化された試験機能を提供します。トランジスタ、コンデンサ、ショットキーダイオード、バイポーラトランジスタ、MOSFETなど、幅広いデバイスの種類を迅速かつ正確にテストできます。自動テストスクリプトにより、良好なデバイスと悪いデバイスを迅速かつ再現可能に分離し、迅速な歩留まり解析を実現します。TENCOR SFS7200は、先進的な光学系と照明システムを内蔵しており、従来のウエハ検査では見えないさまざまな欠陥を検出することができます。プロセスフローの早い段階でこれらの低レベルの欠陥を検出することにより、ユーザーは後期の修正を大幅に削減し、歩留まりを改善することができます。さらに、このユニットの高速で信頼性の高いデータ収集、分析、レポート機能により、プロセスのバリエーションや重要なプロセス領域を特定できます。この情報は、プロセスのボトルネックを軽減または排除するために使用することができ、その結果、プロセスバッチの歩留まりと容量が大きくなります。このマシンのウエハハンドリング機能は、最も要求の厳しいアプリケーションの安全、速度、精度要件に対応するように設計されています。SFS 7200は、8インチの直径プラットフォーム全体にわたるウェーハの正確なモーションコントロールを提供し、デバイスの正確な配置と正確なウェーハアライメントを保証します。KLA SFS7200はまた、幅広いソフトウェアとの統合を提供し、最新のファブや製造ラインに簡単に接続できます。全体として、このツールを使用すると、テストプランを迅速に構成し、テストプロセスから正確にデータを収集し、プロセス最適化のための明確な結果をユーザーに提供できます。全体として、TENCOR SFS 7200は、自動ウェーハテストと計測のための包括的で強力なプラットフォームを提供します。市場をリードするテスト速度と精度を提供し、ユーザーのテストと分析機能を大幅に拡大します。ユーザーは、プロセス制御の強化、歩留まりの向上、市場投入までの時間の短縮などのメリットを享受できます。
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