中古 KLA / TENCOR SFS 6420 #293821383 を販売中

KLA/TENCOR SFS 6420は、半導体業界の幅広い用途向けに設計された高性能ウェーハ試験および計測機器です。効率と信頼性を高めるために設計された小型フットプリントシステムです。これにより、ウェーハの全面的な測定とテストが可能になります。KLA SFS 6420は、高度なレーザースキャン技術に基づいて構築されており、1回の実行でプロセス全体にわたって厳密な測定精度を提供することができます。ウェーハ表面の地形を測定する2次元ビームを備えています。この統合ユニットのデータは、リアルタイム分析とレポート作成のための高度なソフトウェアにリレーされます。自動化されたアルゴリズムは、仕様外のプロセスを識別し、オペレータがリアルタイムで予防行動をとることができるようにします。TENCOR SFS 6420は、デュアルレーザーコントラストでウェーハ全体を一度にスキャンするフルフィールドオプティカルマシンを内蔵しています。このツールは、測定の精度と再現性を保証する独自の統合されたXYターゲティングプラットフォームと組み合わされています。ウェーハを5×2mm単位でスキャンし、最大0。25 μ mの高解像度を実現します。SFS 6420は、アセットがスムーズに動作するようにさまざまなフェイルセーフ機能も備えています。高度な温度安定化により、モデルのパフォーマンスが最適に保たれ、特許取得済みの2段階のフィルム高マッピングにより、機械的および電子的エラーに対する安全性が確保されます。また、データやコンポーネントへの不正アクセスを防ぐ統合安全機能もあります。結論として、KLA/TENCOR SFS 6420は、効率と信頼性を向上させるために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。半導体業界にとって理想的な選択肢であり、デュアルレーザーコントラスト、タイトな測定精度、さまざまなフェイルセーフ機能を備えた統合フルフィールド光学システムを提供します。