中古 KLA / TENCOR SFS 6200 #9083816 を販売中

KLA/TENCOR SFS 6200は、半導体製造業向けに設計された次世代ウェーハ試験および計測機器です。超精密解析と高速スループットを提供し、効率的で信頼性の高い生産を実現します。基板試験、表面特性評価、パターン検査、計測、データ抽出、ウェーハ幾何学的特性評価が可能です。また、プロセス監視や規制も可能です。高速で高精度な光学スキャンを実現し、8インチおよび12インチのウェーハサイズ範囲で最大16マイクロメートルの移動を可能にします。この機械の高感度光検出器は、迅速かつ正確な測定を実現し、正確でエラーのない試験結果を保証します。ウェーハの完全性と優れた表面粗さを確保するために、測定結果は1マイクロメートル以内に相関します。このツールには、3つのカメラ、2つのリニアステージ、1つのフリービームが装備されています。これにより、X平面とY平面の両方で測定と検出が可能で、効率的で汎用性の高い表面スキャンが可能です。リニアステージにより両面の正確な移動が可能になり、バンプ、ピット、傷、歪んだ表面、欠陥などのサンプル表面フィーチャーを高精度に測定できます。KLA SFS 6200は、高度な光学、モーション、ソフトウェア、エレクトロニクスを組み合わせて、優れた性能と1シグマの優れた精度を実現しています。また、表面データを収集するための革新的なアルゴリズムを使用して、各ウェーハで利用可能な情報を最大化します。全体として、TENCOR SFS6200は、優れたスループット時間と究極の精度を提供する強力で汎用性の高いテストおよび計測資産です。表面解析と特性評価が可能で、半導体の生産において優れた性能、速度、効率を提供します。