中古 KLA / TENCOR RS Series #293597083 を販売中

KLA/TENCOR RSシリーズは、マイクロエレクトロニクスの生産とパッケージングを効率的かつ正確に監視するために設計された最先端のウェハテストおよび計測機器です。これは完全に自動化されたシステムであり、ウェーハ表面の迅速かつ信頼性の高いテストを可能にします。KLA RSシリーズは、特徴と機能を備えた3つの異なるモデルで構成されています。RS 300モデルは、クリティカルディメンションスキャンユニットまたはCD-SEMを備えた高度な3Dプロセス制御用に設計されています。最小限の回路パターンでも高い精度と再現性で表面欠陥や粗さを検出することができます。RS 300には、カラービデオ機能を備えた光学顕微鏡モジュールが搭載されており、高解像度の画像と膜厚、エッチング深さ/プロファイル、粒度、光学特性を測定できます。RS 500モデルは、表面および薄膜の精密測定を目的としています。誘電体ホワイトライト反射計を搭載し、サンプル接触を必要とせずにウェーハの誘電特性を解析・測定することができます。これにより、ウェーハ表面全体にわたってより正確で一貫した結果が得られます。このモデルには質量分光計モジュールも含まれており、ガス汚染物質や不活性な種の分析と定量化を可能にします。TENCOR RSシリーズの最先端モデルは、本番環境での高性能、マッピングレベルの測定および監視用に構築されたRS 1000です。このモデルには、ナノ構造および特徴を直接観察するための統合トランスミッション電子顕微鏡（TEM）マシンが含まれています。このツールは、干渉計ベースの「非接触」3D表面測定アセットも備えており、これまで以上に高い精度と精度で低ノイズおよび残留位相測定を可能にします。結論として、RSシリーズは、高度なウエハテストと計測に最適なソリューションです。表面特性とナノパターンの正確な測定を提供し、汚染レベルの監視を可能にし、比類のないデータ分析機能を提供します。自動化されたモデルは、迅速かつ効率的な結果を保証し、マイクロエレクトロニクスの製造における生産性の向上と品質管理の改善を可能にします。