中古 KLA / TENCOR RS-55TCA #9245519 を販売中

KLA/TENCOR RS-55TCAは、今日最も要求の厳しい半導体製造プロセス向けに、高度で包括的な分析ソリューションを提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。自動化されたアライメントとロボットハンドリングシステムにより、1つのバッチで何百ものウェーハを検査するという課題に対応できます。KLA RS55TCAは、ウェーハ1個あたり最大8200ポイントの測定が可能です。このシステムには、現在利用可能な他の多くのシステムよりも高精度の5軸アライメントユニットが搭載されています。直径200mmまでのサイズのウェーハ、厚さ200mmから500mmまでのウェーハを正確に測定することができます。さらに、厚さ、平坦度、表面張力、電気特性など、幅広いウエハ特性を測定することができます。TENCOR RS-55 TCAには、複数のウェーハをリアルタイムで比較することで高度なウェーハ分析を可能にするBandViewer機能など、さまざまな高度な計測ツールも含まれています。さらに、オンボードコンピュータツールなどのいくつかの高度な機能を提供し、最大25,000のテストレコードで最大4GBのデータを保存できます。また、カスタム測定プログラムをオーサリングすることができ、これらのプログラムを簡単に実装するためのグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。KLA RS 55 TCAには、測定の精度を保証する独自の品質保証機能も含まれています。また、高速スキャンオプションがあり、ターンアラウンドタイムを高速化し、プロセスのダウンタイムを最小限に抑えることができます。KLA/TENCOR RS 55 TCAは、非常に汎用性の高い先進的なウェーハテストおよび計測資産であり、さらなる歩留まりの最適化とコスト削減のための重要なプロセスインサイトを提供することができます。これは、さまざまな機能を備えており、信頼性の高いデータと結果を提供するために、テストで高精度と精度を提供するように設計されています。