中古 KLA / TENCOR RS-55TCA #9195303 を販売中

KLA/TENCOR RS-55TCAは、半導体製造およびIC設計用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。高解像度の欠陥解析、歩留まり管理、プロセス制御、故障解析を可能にする完全自動化システムです。このユニットは、高精度、再現性、および集積回路の生産を監視および制御する信頼性を提供します。KLA RS55TCA機は、CCD （Charge-Coupled Device）センサー、ダイツウェーハアライナー、多軸ステージを組み合わせ、高解像度で優れた精度の画像を提供します。CCDセンサーは、特許取得済みの光学イメージングツールを使用して、個々のダイとダイのレベルで非表示情報をキャプチャします。その後、高度な顕微鏡イメージング技術を使用して、10〜40 µmの欠陥を分析および検出します。ダイツウエハアライナーは、ウェーハトポグラフィを登録し、欠陥を正確に見つけて特定するための広い視野を提供します。多軸ステージは、正確な位置決めと動きのための高精度の動きを提供します。TENCOR RS-55 TCAは、サブミクロンレベルの精密測定を保証する校正ボックスで校正されています。このアセットは、ウェーハ上の異なるサイトから最大8つの異なるパラメータを測定することができます。ダイバイ測定からマクロレベルのフォトマルチプライヤ測定まで、TENCOR RS 55 TCAは、集積回路の製造中に発生する不規則性を検出できます。また、薄膜成膜、粒状構造、断面イメージング、TEOS（テトラエチルオルソシリケート）堆積などの特徴を検出することができます。RS-55TCAは、チップ製造および製造のための高度な計測ツールです。高い精度と再現性を提供しながら、歩留まり管理やプロセス制御に役立つ信頼性の高いデータを提供するように設計されています。このツールは、最終製品の品質保証と生産上の問題の特定と軽減に役立ちます。KLA/TENCOR RS 55 TCAの堅牢な多軸ステージ、CCDセンサー、およびダイツウエハアライナーは、正確で信頼性の高いウェハテストと計測に強力な組み合わせを提供します。