中古 KLA / TENCOR RS-55TCA #9192127 を販売中

KLA / TENCOR RS-55TCA
ID: 9192127
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR RS-55TCAは、さまざまな基板および製品のデバイス層、欠陥、および構造特性の正確かつ信頼性の高い測定を提供するように設計された強力なウェーハ試験および計測機器です。レーザー干渉計などの最先端の技術を活用し、高速かつ効率的な表面プロファイリングを実現するとともに、複数のビームテストを同時に行うことでデバイス性能を最適化する音響顕微鏡をスキャンします。これらの機能の組み合わせにより、KLA RS55TCAはプロービング、検査、ポストプロセス洗浄、欠陥検証などの課題を含む、大量のウェハ処理に最適な選択肢となります。このユニットは、あらゆるサイズのウェーハ間で安定したスキャンを行うための2つの高性能リニアドライブを備えており、ユーザーが仕様に合わせてカスタマイズできる統合された計測パッケージを備えています。このマシンには、数分で最小の欠陥でも検出および分析できる独自の欠陥検査スイートも含まれています。さらに、断面SEM画像、分光法、デジタルイメージングなどの機能を統合するオプションにより、可能な限り最高の精度と感度を実現します。TENCOR RS-55 TCAは、多様なテストウェーハでほぼ完璧な性能で動作し、業界標準の幅広いウェーハプロセッサと互換性があるように設計されています。自動化されたプロセスとキャリブレーション機能により、ユーザーはテストパラメータを完全に制御するとともに、詳細なレポートとウェーハのパフォーマンスの正確な分析を提供します。真空内ツールを使用することにより、RS55TCAは追加の保護層を必要とせずにさまざまなタイプのウェーハでテストを実行することができ、はるかに滑らかな表面仕上げとより正確な結果を得ることができます。さらに、この資産には、トラッキングとトレーサビリティを向上させるための洞察、分析、および詳細な記録を生成する高度なソフトウェアプログラムが装備されています。KLA RS-55TCAは、さまざまなコンポーネントや製品を大量に製造するために設計された信頼性の高い強力なウェーハテストおよび計測モデルです。さまざまな統合機能と最先端の技術により、ユーザーは効率、精度、パフォーマンスを向上させます。
まだレビューはありません