中古 KLA / TENCOR RS-35 #9137627 を販売中

KLA/TENCOR RS-35は、半導体ウェーハの状態に関する正確な情報をユーザーに提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な光学系とデジタルイメージングを使用して、ウェーハ表面の物理的異常を検出および測定します。一度特定されると、異常を評価してウェーハ品質への影響を判断することができます。このユニットはKLA SensArray Optical Detectorsに基づいており、8nmの物理的証拠を測定することができます。SensArray Detectorsは、高解像度のデジタルイメージングを使用して、従来のイメージングシステムの1,000倍のシャープなウェーハ表面の画像を作成します。結果として得られた画像は、傷、チップ、ピットなど、ウェーハ表面に存在する可能性のある異常を明らかにします。KLA RS-35は、従来の光学計測システムと同じ原理で測定を行いますが、速度と精度が向上しています。このマシンは、1時間あたり最大400チップで1nmの分解能で測定を行うことができます。これにより、ウェーフサーフェスの潜在的欠陥を迅速に検出できます。また、生産開始前に任意の損傷が特定され、対処されることを保証します。TENCOR RS 35には、欠陥分類用の統合モジュールも含まれています。このモジュールは、検出された異常をパターンの不規則性、抵抗変動、粒子欠陥などのカテゴリに分類するために設計されたアルゴリズムを利用しています。これにより、ユーザーは潜在的に問題のある欠陥を迅速に特定し、最終製品で可能な限り最高の品質を確保するための是正措置を講じることができます。また、RS-35にはウェーハフラットネスモジュールも含まれています。このモジュールは、ウェーハの平坦性を測定し、生産上の問題を引き起こす可能性のある非平坦な領域を特定します。このモジュールは、ツールで製造されたウェーハが最高水準に準拠していることを確認するのに役立ちます。RS 35は、テストと計測のための強力で信頼性の高いツールであり、ウェーハの潜在的な欠陥を識別する効率的で正確な方法をユーザーに提供します。高度な光学、デジタルイメージング、欠陥分類機能により、ユーザーはウェーハの品質を迅速かつ正確に評価できます。