中古 KLA / TENCOR RE35e #9130305 を販売中

KLA/TENCOR RE35eは、半導体デバイスの高精度表面および深度計測検査用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、測定精度を損なうことなく、小さなフットプリントで優れた性能を提供します。KLA RE35eは、優れた精度のウェーハレベル測定を提供するとともに、より高いスループットレートを実現するように設計されています。高解像度光トランスファーモジュールと最先端のハードウェアおよびソフトウェアソリューションを利用した高度な多軸CCDプラットフォームを備えており、インラインおよびラボベースの計測に適しています。統合されたデュアルステージパターンジェネレータを備えており、異なるパターンサイズと深さを測定できます。パターン生成方法は、ウェーハ材料やプロセスの種類に関係なく、一貫した高解像度の結果を保証します。TENCOR RE35eの統合されたフォーカスとアライメントアルゴリズムにより、低コストで非常に高速な測定が可能になります。さらに、高度な光学モジュール、フレキシブルパターン生成、高精度サーボモータは、結果に成果物を導入することなく、非常に正確で正確な測定を提供します。RE35eには直感的なユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスが組み込まれており、ユーザーはさまざまなアプリケーションやタスクのためにユニットを簡単にセットアップおよび構成することができます。ユーザーは、マシンの多くの機能に簡単にアクセスして制御できます。測定タイプ（CD、横方向の臨界寸法、厚さなど）、露出設定（傾斜、フォーカス、露出時間）、取得したデータ取得パラメータ（サンプリングレート、ゲイン、直線性など）など、さまざまな設定から選択できます。このツールは、複数のサイト測定認識、自動ウェハマッピング、信号解析、光学モデル構築など、いくつかの高度な機能も提供しています。これにより、ユーザーは非常に正確な測定を得ることができますが、それでも高速なスループットを可能にします。KLA/TENCOR RE35eは、正確かつ高速なウェハレベルの表面および深いレベルの計測検査を可能にするため、研究および生産目的の両方に最適です。効率を最大化し、エラー率を低減し、信頼性の高いデータを確保します。