中古 KLA / TENCOR Quantox XP #9296679 を販売中

KLA/TENCOR Quantox XPは、半導体ウェーハの効率的で正確かつ信頼性の高い特性評価を目的に設計された業界をリードするウェーハ試験および計測機器です。高度なイメージング技術と高精度な解析アルゴリズムにより、KLA Quantox XPはウェーハ表面の電気的、光学的、物理的特徴を正確に測定します。このシステムの革新的な設計により、大きな1,000mmおよび300mmウェーハ、および小さなチップを素早くスキャンすることができます。特許取得済みのデュアル波長マルチスペクトラムイメージングと精密な画像解析アルゴリズムを利用して、ウェーハ表面の欠陥を正確に検出します。この強力なイメージング技術は、線幅を0.1µm以下に下げるなどのサブディフラクションの限られた欠陥を分離することができます。TENCOR Quantox XPのソフトウェアパッケージを使用すると、複数のウエハと欠陥タイプを比較するために、正確なオーバーレイで3次元サーフェスマップを同時に表示できます。Quantox XPは、ウェーハ表面の明確な視覚的表現を提供するだけでなく、ウェーハの幅広い電気的、光学的、機械的、化学的、熱的およびその他の特性を確実に測定することができます。これには、寸法、表面粗さ、形状、電気特性、光学特性および構造特性、および温度の測定が含まれます。このユニットは、それぞれの特性を信じられないほどの精度で測定することができ、製品の品質に関するウェーハ加工エンジニアへの貴重なフィードバックを提供します。KLA/TENCOR Quantox XPには、テストのニーズに最も適した実験設定をカスタマイズできる自動評価ツールも搭載されています。これには、同じテストプログラム内で複数のテストを構成すること、自動テストの最適化、パフォーマンス分析が含まれます。統合解析パッケージは、完了時に包括的なテストレポートを迅速に生成します。結論として、KLA Quantox XPは効率的で信頼性の高いウェーハテストと計測に最適なソリューションです。強力なイメージング技術、カスタムソフトウェア、および正確なマルチパラメータ測定を備えたこのマシンは、半導体回路の製造に最適なデータ分析を提供します。