中古 KLA / TENCOR Quantox XP #9296678 を販売中
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KLA/TENCOR Quantox XPは、包括的な欠陥解析および故障診断用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。ウェーハやその他の基板からスキャンデータを正確に測定および処理できる5つの重要な機能を備えています。まず、デジタルイメージングシステムは、ウェーハ表面の画像をキャプチャし、マクロレベルとサブミクロンレベルの両方で、ウェーハ形状の正確な検査と測定を可能にします。第二に、検出ユニットは、最大5µmの解像度で最適な信号対ノイズ比とフルフィールド測定機能を提供します。これにより、最小の欠陥や汚染物質を検出することができます。第三に、この機械の高度な発光イメージング機能により、ドーパントマッピング、穀物構造、フォトリソグラフィー、および量子ドットアプリケーションの評価が可能になります。第四に、KLA Quantox XPは、自動ウェハマッピングと欠陥検査をリアルタイムで行うために独自に設計されており、高プロセスのスループットを実現しています。複雑な環境でも自動化された操作に高度なユーザー定義レシピを使用します。最後に、このツールの包括的な分析およびレポート機能により、ウェーハの欠陥ランドスケープの詳細な再構築と生産における欠陥の包括的な特性評価が可能になります。ウェーハメーカーにとって、この資産は、生産中の重大な欠陥を特定して修飾することで、高価な再作業やスクラップを回避することで、大幅な品質向上を実現します。簡単なGUIベースの操作で、使いやすいです。さらに、スケーラビリティのために設計されているため、プロセス要件がより高度になるにつれて、ユーザーは基本モデルから始めてより多くの機能を追加できます。最後に、機器の性能を継続的に向上させるためのアップグレード可能なコンポーネントで、長期的な使用を提供するために構築されています。
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