中古 KLA / TENCOR Quantox XP #9252245 を販売中
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KLA/TENCOR Quantox XPは、複数の光学、イメージング、パターン認識技術を組み合わせた複雑なウェハテストおよび計測機器です。このシステムにより、組成、形状、欠陥の複雑さなどを半導体分析できます。メンテナンスのダウンタイムが少なく、スループットが向上した高速自動ウェーハ検査を提供するように設計されています。KLA Quantox XPは、生産プロセスで使用するために設計されており、頑丈な構造で耐えるように構築されています。KLA独自の「レーザー干渉計」技術により、ステップハイトなどの微細なウェハトポグラフィーを測定します。このユニットには、優れた機能認識機能を提供する一連のソフトウェアツールもあります。各フィーチャーのサイズ、形状、アライメント、欠陥挙動を0。5ミクロンの精度で測定します。また、同じプラットフォームに埋め込まれたタイムオブフライト（TOF）顕微鏡とSIMS深度プロファイリングツールを備えています。前者は、ウェーハの3D地形を0。5ミクロンの横分解能で検査・分析することができます。一方、SIMS深度プロファイリング資産は、ウェーハに存在する欠陥の種類と量を詳細に把握します。各欠陥の深さを測定し、さまざまな欠陥を特定するのに役立ちます。さらに、TENCOR Quantox XPには、ウェーハ表面をイメージングする「MultiSpectral Imaging」技術が搭載されており、高度な欠陥特性評価および解析に役立ちます。さらに、このモデルは100mmの広い視野を持っており、ユーザーは1ショットでウェーハの全面をキャプチャすることができます。また、ベークキャンセル、マルチスケール解析、フーリエ変換解析などの高度なアルゴリズムのソフトウェアを備えており、より正確な欠陥解析が可能です。Quantox XPは、効率的で信頼性が高く、費用対効果の高いブルーウェハテストおよび計測機器です。これは、最も複雑なウェーハトポグラフィでも正確かつ正確な測定を提供し、印象的な解像度を提供します。使いやすいソフトウェアスイートは、直感的なユーザーインターフェイスと強力な自動解析機能を提供します。さらに、クローズドループオートメーションにより高い生産性と再現性を実現し、あらゆる産業用ウェハアプリケーションに最適なシステムとなります。
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