中古 KLA / TENCOR Puma2 #9270982 を販売中

KLA/TENCOR Puma2 Wafer Testing and Metrology装置は、集積回路デバイスの製造に使用されるウェーハの微細構造を検査および評価するためのハイエンドシステムです。高度な光学およびイメージング機能を内蔵しており、今日のますます複雑化する高集積化されたICウエハの特徴、欠陥、汚染を検出できます。KLA Puma2ユニットには、アダプティブイメージング技術を搭載した2つの最先端のイメージングサブシステム、2つの高解像度画像処理サブシステム、2つのインテリジェントメトロロジーサブシステムがあり、正確なウェーハテストと計測機能を提供します。自動化されたアダプティブイメージング技術により、TENCOR Puma2はウェハごとに光学イメージングをカスタマイズできます。このカスタマイズにより、これまでにない画像解像度が得られ、欠陥検出と歩留まりが向上します。専用のソフトウェアアルゴリズムを搭載した2つの画像処理サブシステムは、ウェーハの特徴の識別、定量化、分析を可能にし、さまざまなウェーハ特性に関する詳細なフィードバックを提供することができます。自動メトロロジーサブシステムは、さらに正確で正確な測定を提供します。これらの機能により、従来Puma2イメージングシステムを使用して検出できないサブミクロン粒子や特徴を検出して識別することができます。さらに、この資産には、複数のユーザーフレンドリーなデータ分析ツールが追加され、画像アーカイブと広範なレポート機能がサポートされています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルベースのユーザーインターフェイスは、ナビゲーションを簡素化し、トレーニング時間を短縮し、品質管理を容易にします。最後に、KLA/TENCOR Puma2は、SEMI、 ISMI、 IT6-D、 ESD、 E-Rayなどの業界標準に準拠し、他のファブリンと完全に統合して、モデルとその他のサポートするツールセット間のシームレスなデータ交換を容易にします。このツールセットの統合により、ウェーハ品質の予測とリアルタイム分析が可能になり、生産における最大のウェーハ歩留まりが保証されます。