中古 KLA / TENCOR Puma2 #9270869 を販売中

KLA/TENCOR Puma2は、半導体ウェーハ製造の性能と精度を向上させるために設計された高度な計測およびウェーハ試験装置です。このシステムは、ウェーハ製造プロセス全体にわたって超高精度測定を導入することができます。高度な光学系とウェーハ検査ソフトウェアを搭載し、ウェーハの重要寸法（CD）と金型形状を迅速かつ正確に測定できます。KLA Puma2マシンは、高解像度イメージングツール、フォトマスク計測資産、および様々な光学およびソフトウェアツールで構成されています。高解像度イメージングモデルは、精密なナノレベルのCDの測定を提供し、プロセス制御と歩留まりの向上を可能にします。この装置はまた、ウエハのプロファイルと表面地形の決定を可能にします。フォトマスクメトロロジーシステムは、ウェハ製造プロセスで使用されるマスクのフォトマスク欠陥などの光学検査に使用される特殊なツールです。これは、マスクに存在する標準的な欠陥と不規則な欠陥の両方を迅速かつ正確に判断する手段を提供します。このユニットは、正方形、長方形、円形、その他の形状を含む幅広いウエハサイズとIC基板ジオメトリをサポートしています。特殊なウエハハンドリングステージは、マシンと互換性があり、幅広いサンプル移動機能を提供します。また、直感的なユーザーインターフェイス、包括的なデータ管理と分析、統合された画像解析ライブラリを提供する独自のソフトウェアも備えています。TENCOR Puma2アセットは、半導体業界におけるプロセス制御および欠陥検出のリーディングエッジソリューションです。このモデルは、高性能イメージングシステム、フォトマスク計測機能、直感的なユーザーインターフェースにより、歩留まりを改善し、製造速度を向上させるための費用対効果の高い方法を提供します。優れたカスタマーサポートとトレーニングオプションにより、小規模または大規模なウェーハ製造作業に最適なソリューションです。