中古 KLA / TENCOR Puma2 #293614936 を販売中
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KLA/TENCOR Puma2は、チップメーカーのプロセス歩留まり、生産性、コスト競争力を大幅に向上させるために設計された画期的なウェハテストおよび計測機器です。特許技術であるWafer Stress Metrology2 (WSM2)を使用することにより、KLA Puma2はチップメーカーが各チップへのストレスの影響を正確に測定することができ、ウェーハが出荷される前に歩留まりについてこれまでにない洞察を提供します。このシステムは、メインフレーム、ウェーハハンドリングモジュール、光学イメージングシステム、および測定ユニットコンポーネントで構成されています。メインフレームは、プロセッシングエレクトロニクスとストレージサブシステム、コンピュータビジョンのサブシステム、キャリアとアライメントサービス、WSM2プラットフォームで構成されています。ウェハハンドリングモジュールは、高速転送デバイスと動き、サンプル調製、ソート、アライメント用のロボットアームで構成されています。光学イメージングシステムには、デジタルカメラと光源が搭載されており、高速接触イメージング散乱計、渦電流試験、その他のオンウェーハテストシステムが含まれています。TENCOR Puma2は、チップ内の応力を3次元で正確に測定できるWSM2と呼ばれる特許取得済みのアーキテクチャを利用しています。これにより、試験時間が短縮され、精度が向上し、チップメーカーはウェーハ全体のダイレベル応力をよりよく理解し、ウェーハ出荷前にプロアクティブな調整を行うことができます。さらに、Puma2はチップ内の各レイヤーの迅速なフィードバックとリアルタイム監視を提供します。このツールはまた、ウェーハ機能に対するストレスの影響について比類のない洞察を提供する正確な分割秒サブサイクル測定を実行します。さらに、アセットは柔軟性が高く、既存のチップのフィーチャーサイズやプロファイルに適応できます。幅広い業界標準のテスト方法で動作するように設計されており、お客様はユーザー定義のテストパラメータをプログラミングして正確な測定を保証できます。このモデルの堅牢性と信頼性により、チップメーカーは歩留まりと生産性を最大限に高め、時間、コスト、エネルギーを大幅に節約できます。全体として、KLA/TENCOR Puma2は革新的なウェーハテストおよび計測機器であり、ウェーハストレスに対するこれまでにない洞察を提供し、チップメーカーは歩留まり、生産性、コスト競争力を最大限に高めることができます。システム独自のWSM2アーキテクチャと3次元での正確な測定により、チップメーカーは問題を迅速に特定し、ウェーハを出荷する前にプロアクティブな調整を行うことができ、大幅な時間とリソースを節約できます。
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