中古 KLA / TENCOR Puma 9650 #293814960 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9650は、半導体産業のために特別に設計された自動ウェーハ試験および計測機器です。これは、パターン化されたウエハを迅速かつ正確にテストするための技術と、複数の検査技術を組み合わせて、包括的なテスト機能を提供します。KLA Puma 9650システムは、光学明るいフィールド（OBF）と高度な計測技術を使用して、ウェーハの完全な検査と測定を迅速に実行します。高解像度カラーCCDカメラを含む完全なウェーハイメージングおよびパターン認識機能を備えており、ウェーハ画像を素早くキャプチャし、ウェーハの機能の詳細な概要を提供します。オーバーレイステッパーのアライメントにより、オーバーレイ測定の精度と試験結果の再現性が保証されます。測定機能には、ナノメートルスケール構造の詳細な特性評価、サイドウォールの厚さ、オーバーレイ/登録測定のための3次元イメージングが含まれます。また、銅、チタン、ヒ素ガリウムなど様々なウエハ基板上の臨界寸法（CD）や線幅粗さ（LWR）などのパラメータ測定にも使用できます。精度を確保するために、TENCOR Puma 9650は、ウェーハオートフォーカスマシンと、明るいフィールド・イメージング用の高出力照明ツールを備えています。これにより、ウェーハは最高レベルのディテールに集中し、測定精度を向上させます。さらに、このアセットには特許取得済みのハイブリッドステージモデルが付属しており、ウェハレベルとダイレベルの2種類の測定を柔軟に実行できます。これにより、小さなサンプルサイズをテストできるため、再作業や材料コストを削減できます。統合されたVisionLinkソフトウェアは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを提供し、自動化されたテストと分析を可能にします。包括的な欠陥および故障分析およびトレンド分析のための強力なデータ分析機能を提供します。ソフトウェアはまた、基本的かつ複雑な測定のためのセットアッププロセスを簡素化し、迅速かつ簡単な操作を可能にします。全体として、Puma 9650は、正確な測定とパターン化されたウェーハの迅速な検査を提供するように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。高度な計測システムとハイブリッドステージシステムにより、フォトマスク欠陥検査、非接触ウェーハプローブ試験、ダイ歩留まり監視などの用途に適しています。