中古 KLA / TENCOR Puma 9550i #9258170 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9550iは、デバイスの特徴と重要な寸法を高精度に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA Pumaファミリーの最新世代計測プラットフォームです。9550iは最先端の技術と革新を取り入れ、比類のない精度と生産性を確保しています。このユニットの中心には、高度に統合された光学設計があります。スキャン照射回折イメージング顕微鏡（iSCOPE）を搭載したユニークな光学ヘッドと、2つの干渉計の目的に基づいたデュアルデフレクター設計があります。iSCOPEは、デバイスの表面全体にわたって複数の基準を同時にイメージングすることができ、デバイスの上下両方の重要な特徴サイズ、重大な高さ/角度およびオーバーレイ測定の分析を提供することができます。デュアルデフレクタ設計により、クリティカル寸法の高精度な測定と、サブナノメートル精度の動きを持つ両面の正確なクリティカルな高さ/角度測定の両方を可能にします。9550iは、優れた光学設計に加えて、30msのシングルクリック測定時間、2秒未満の機能識別、および12分未満のフルカバレッジのウェハマッピングを備えた高速測定も提供します。また、0。96nmクリティカル寸法と0。76nmオーバーレイ誤差の5シグマ精度で優れた再現性を誇っています。さらにユーザーのプロセスを容易にするために、9550iは直感的なメニュー駆動インターフェースを備えた先進的なユーザーインターフェイスUIを提供し、ユーザーのトレーニング時間を短縮し、自動化された測定と分析のための「ステップバイステップ」の例を提供します。TENCOR独自のパターン認識ソフトウェアであるAutomated Feature Recognition （AFR）は、少数のスキャン画像から高いスループットと正確な間隔解析を保証します。KLA Puma 9550iは、精密測定用に特別に設計された画期的なウェーハテストおよび計測ツールで、他の競合プラットフォームにはない機能を提供します。その革新的な光学設計は、比類のない精度、パフォーマンス、生産性を提供します。ユーザーインターフェイス、ソフトウェアオプション、優れた機能認識機能により、重要な機能をすばやく識別および分析でき、プロジェクトを迅速かつ効率的に実行できます。優れた性能とユーザーフレンドリーな機能を備えた9550iは、高度な精度測定に最適です。