中古 KLA / TENCOR Puma 9150 #9217535 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9150は、オンウェーハ検査、計測、画像解析に使用される高度なウェーハ試験および計測機器です。自動化されたロボットアーム、正確なモーションコントロール、強力なイメージングおよび処理機能を備えており、画像をキャプチャしてデータを迅速かつ正確に分析できます。このシステムは、ウェハハンドリングステージとイメージングおよび処理モジュールの2つの主要コンポーネントで構成されています。ウェハハンドリングステージは、イメージングおよび分析プロセス用のサンプルウェーハを正確に配置する自動ロボットアームで、さまざまなサイズのサンプルに使用できます。ステージはまた、分析の精度を確保するためにサンプルの向きと高さを調整します、だけでなく、イメージングとデータキャプチャ。イメージングおよび処理モジュールは、イメージングマシン、制御インターフェイス、および複数の処理モジュールで構成されています。イメージングツールは、2つの充電結合デバイス（CCD）カメラで構成され、最大10マイクロメートルの解像度で画像をキャプチャすることができます。さらに、ウェーハに有用な情報を集めることができる多焦点光学を搭載しています。一方、KLA GUIMindソフトウェアなどの制御インターフェイスは、直感的で包括的なユーザーエクスペリエンスを提供し、モデルの包括的な制御を可能にし、統合されたデータ管理と高度な分析を提供します。最後に、装置には、包括的な検査と計測のための欠陥分類モジュールなど、いくつかの処理モジュールが含まれています。これは、システムによって収集されたデータが正確であることを保証し、さらに分析し、ユニットに統合される前にウェーハの潜在的な問題を特定するために使用することができます。KLA Puma 9150マシンは、ウェーハ検査および計測のための重要なツールであり、包括的な分析を可能にするための正確で正確で有益なデータを提供します。自動化されたロボットアームと強力なイメージングおよび処理機能により、ウェハ検査や計測アプリケーションに最適です。