中古 KLA / TENCOR Puma 9150 #293606942 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9150 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、包括的で正確で信頼性の高い半導体プロセス制御と欠陥解析を提供する計測プラットフォームです。KLA Puma 9150プラットフォームは、散乱計測、AFMなどの光学手法を含む高度な計測技術を活用して、プロセス制御および欠陥解析に強力で統合された機能を提供します。TENCOR Puma 9150システムは、製造中にデバイスを持つ重要な寸法を正確に測定することにより、プロセス制御を可能にします。これは、プロセスの各ステップが正しく実行されるようにするのに役立ちます。Puma 9150を使用すると、エンジニアと科学者は複雑な表面を監視し、生産プロセスで製造している各装置の形状と局所層の厚さを特徴とすることができます。KLA/TENCOR Puma 9150ユニットは、プロセスおよび欠陥解析の厳しい要求に応えるように特別に設計されています。このマシンは、6つの調整可能な軸と2つの垂直運動軸を備えており、一度にウェーハ上の複数の斑点を測定できるマルチスポット散乱計、200nmの解像度を持つスキャンバイスポット散乱計、5nmの解像度を持つスキャン電子顕微鏡、および自動焦点ビーム（FIB）などの高度なセンサーが搭載されています。これらのセンサはすべて、高解像度の光学および電気測定を行う機能を提供します。KLA Puma 9150ツールは、最高水準の品質を満たすように設計された強力なプロセス制御および欠陥解析ソフトウェアと統合されています。このソフトウェアは、簡単な監視やデータの可視化から複雑な画像処理、特徴抽出、統計分析まで、さまざまな処理タスクを実行できます。TENCOR Puma 9150アセットは、信頼できる統計プロセス制御に適した高速かつ正確な測定結果を提供します。統合モデルは、ウェーハの歩留まりと品質パラメータを予測するための強力なプラットフォームを提供します。Puma 9150は多種多様なセンサを搭載しており、製造工程における欠陥を正確に検出および修正し、製造工程全体でデバイスの性能と歩留まりを最適化します。全体として、KLA/TENCOR Puma 9150ウェーハテストおよび計測システムは、包括的かつ正確なプロセス制御と欠陥解析を提供する効果的なプラットフォームです。その高度な計測技術と強力なソフトウェアスイートは、ウェーハの製造を監視および最適化するための信頼性と信頼性の高いソリューションを提供します。