中古 KLA / TENCOR Puma 9150 IS #9177224 を販売中
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販売された
ID: 9177224
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Operating system: Windows 2000 based
Modular inspection station
Modular handler (200/300mm dual open / Dual 300mm FIMS)
Flexible image computer
Optics modes
(5) Inspection pixel modes (sL20, sL40, sL60 included in every system)
Low contact chuck
Integrated ULPA filter
Data transfer (CD RW, Ethernet)
Wafer pre-aligner
Network communication
Stand alone user interface
(5) Review objectives: 5x, 10x, 50x, 100x, 150x
Advanced detection algorithms
Defect clustering
High mag review optics:
Bright and darkfield review modes
Autofocus capability
Review sampling
Earthquake restraint
Dual fims, phoenix v1.3
(25) Cassettes HW, 300 mm SW
Includes:
(1) DSW 16.3 type 2 wafer
(1) Shiny wafer
(1) Haze wafer
FFU Analog
Enhanced throughput: sL10, 15
GEM/SECS and HSMS
OHT Enabled
With cbl, G4
Signal tower: PHX (RYGB)
Option: NFS SW
Power cable: 15 m
Remote ext blower cabling, 15 m
Array mode
Currently installed
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9150 ISは、業界をリードするウェーハ試験および計測機器です。高度な技術は、精密な光学、画像認識、計測機能を兼ね備えており、より速く、より正確なウェーハ検査と分析を可能にします。KLA Puma 9150 ISは、大量の半導体製造の要求に応えるように特別に設計されています。TENCOR Puma 9150 ISは、9つの高解像度自動RGBカメラを備えており、視野多重化オプションで複数のレベルでウェーハ検査を可能にします。これにより、表面の不規則性、粒子汚染、およびリソグラフィー誤差のようなプロセス関連の汚染など、いくつかの種類の欠陥を迅速にスキャンできます。光学システムは、ナノメートルスケールまで正確な測定を提供します。自動化されたウェーハ検査プロセスにより、正確で効率的なウェーハ表面分析が可能です。システムのコンピュータビジョン技術により、ユーザーは検出された欠陥を正確に識別し、分類することができます。さらに、Puma 9150 ISは、ウェーハテストの段階で意思決定を支援するリアルタイム計測データを提供することができます。KLA/TENCOR Puma 9150 ISには、画像のキャプチャと分析を簡素化する強力で使いやすいソフトウェアも装備されています。このソフトウェアは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを持っており、高度なビデオイメージ処理機能を提供します。さらに、モジュール性により、さまざまなウェーハテストおよび計測アプリケーションに合わせたカスタム構成が可能になります。KLA Puma 9150 ISは、収集したデータから自動的に学習することで高速スループットを実現します。着信材料を迅速かつ正確に検証するとともに、将来の実行のためにプロセスを最適化するフィードバックを提供するように設計されています。さらに、統合された計測ユニットは、その高精度で際立っています。独自のキャリブレーションを活用することで、ナノメートルスケールに再現性と精度の高い結果を提供します。全体として、TENCOR Puma 9150 ISは最新の光学および画像認識技術を組み合わせた高度なウェーハ試験および計測機です。この堅牢なツールは、優れた精度と再現性で信頼性の高いウェーハ検査と計測結果を提供します。モジュール性と強力なソフトウェアにより、高度な構成が可能になり、業界標準のウェーハテストおよび計測ニーズに最適なソリューションとなります。
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