中古 KLA / TENCOR Puma 9130 #9398548 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9130は、生産レベルのウェーハ試験および計測用に設計された精密測定およびウェーハ試験装置です。このシステムは、1。2nmの典型的な精度で、ウェーハの高精度な測定とテストが可能です。このユニットは、ウェーハの複数の構成を測定することができ、直径6インチまでスキャンすることができます。KLA Puma 9130は、半導体ウェーハおよびチップを迅速かつ正確に分析、検査、診断、修理することができる完全自動化されたマシンです。TENCOR Puma 9130は独自のソフトウェアプラットフォームを備えており、ユーザーはツールの操作のすべての側面を設定および制御できます。このアセットには、12チャンネルの光学顕微鏡カメラと高解像度イメージングを提供する3軸モーションモデルが搭載されており、ウェーハ機能の正確な測定と分析が可能です。Puma 9130は、画像からデータを取得するための高解像度画像処理装置を備えています。このシステムは、重要寸法、線幅、エッジ配置、形状アクティビティなどのウェハフィーチャーの検出、測定、分析に使用できます。このユニットはまた、半導体チップの正確な測定を可能にするウェハマッピングを提供します。このマシンには、生産レベルの自動欠陥検出ツールも装備されています。このアセットは、一連の画像処理操作を使用して、破線、オープンビア、欠落したバンプ、およびその他のさまざまな欠陥などの欠陥を検出します。また、KLA/TENCOR Puma 9130には、画像からのデータを正確に分析できる画像解析ツールが用意されています。これには、高分解能半導体機能検出、ウェハレベルの欠陥解析、パターン輪郭および表面プロファイル、および高レベル計測マップが含まれます。これにより、ウェーハの重要な寸法や形状を正確に測定することができます。全体として、KLA Puma 9130は生産レベルのウェーハ試験および計測モデルであり、半導体ウェーハの精密な分析と検査を可能にします。この装置は、高解像度の画像処理、欠陥検出、画像解析、計測マッピング機能を備えており、ユーザーはウェーハから高精度のデータを得ることができます。これにより、生産レベルのウェーハテストと計測に最適なシステムとなります。