中古 KLA / TENCOR Puma 9130 #9392082 を販売中

KLA/TENCOR PUMA 9130は、デバイスの製造工程において半導体ウェーハ上で高精度に測定できるように設計されたウェーハ試験および計測装置です。このシステムには、自動化された自己整列ウェーハステージ、視覚イメージングユニット、さまざまな測定および分析オプション、およびオペレータがデータを分析し、より良い意思決定を行うのを支援するために特別に設計された広範な一連のソフトウェアが含まれています。KLA Puma 9130は、複数のカメラ、強力な光学顕微鏡、および高感度の測定器を備えています。この組み合わせにより、ナノメートルスケールで非常に小さな欠陥構造を検出することができます。また、他のデバイス構造を1ナノメートルの解像度まで正確に測定することもできます。さらに、TENCOR Puma 9130の高度なイメージングツールは、洗練された空間フィルタリングアルゴリズムと良好なコントラストを提供し、デバイスのより詳細な検査と測定を可能にします。アセットの測定および分析オプションは高度にカスタマイズ可能であり、そのソフトウェアツールは、オペレータがダイの欠陥を迅速に特定し、根本原因を特定し、傾向を推定するのに役立ちます。KLA CDSソフトウェアを使用すると、ユーザーはテストを設定する前にイメージをシミュレートして、予想される動作を決定できます。ソフトウェアはまた、測定を保存し、追跡するためのCDSデータベースと統合します。Puma 9130は、自動欠陥検査、ウェハマッピングおよび分析、プロセス制御など、幅広いウェハテストおよび計測アプリケーションに使用できる強力で正確なモデルです。自動化されたステージ化された直感的なソフトウェアと包括的な機能セットにより、時間とコストを節約しながら優れた結果を提供します。機器のモジュール設計により、部品の追加やアップグレードが容易になり、お客様のニーズに合わせてシステムを拡張および適応させることができます。