中古 KLA / TENCOR Puma 9130 #9214946 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9130は、独自の機能を提供する高度なウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、最新の生産環境でのスルー・プットと生産性を最大化するために構築されており、複雑な半導体ウェーハのマーキングと測定のための強力なツールとして、正確で信頼性の高い測定を提供します。KLA Puma 9130は、CMOS、 SOI、 MEMS、ミックスドシグナル、パワーデバイスなどの幅広いウェーハをテストできる多機能ウェーハテストソリューションです。このユニットは、最新のイメージング技術を搭載しており、ウェーハ上の欠陥や特徴を正確に検出できます。TENCOR Puma 9130は、4 × BSEイメージングモードを備えており、デバイスのより正確な検査を可能にします。さらに、正確な欠陥と特徴位置、および2D/3D測定の完全な配列をサポートするプロービング機能を提供します。特許取得済みの偏光機能を利用して、ウェーハ表面の細部をキャプチャする高解像度イメージングを可能にします。このツールの高精度なステージ位置決めアセットは、非常に小さなフィーチャーサイズで正確な測定を行うように設計されています。ポジショニング技術やパターン認識技術を駆使することで、ゲート接合などのデバイス構造を精密に測定することができます。Puma 9130独自のアーキテクチャにより、狭いスペースでもさまざまなウェーハテスト機能を柔軟に設定できます。それにテストされた条件を調整し、ウェーハを損なうことができる酸化効果を減らすために環境および温度を制御する統合された環境部屋があります。KLA/TENCOR Puma 9130は、高いスループットと高速処理能力を備えており、本番環境に最適なソリューションです。この装置は、1時間あたり最大300個のウェーハをテストすることができ、独自の低粒子環境を備えています。これは、所有コストの低さと組み合わせることで、ハイスループットウェーハテストと計測システムに最適なソリューションとなります。