中古 KLA / TENCOR Puma 9130 #293758114 を販売中

KLA/TENCOR Puma 9130は、半導体製造に使用されるウェーハ試験および計測のための強力なツールです。それは直径300mmまでの広い材料およびウェーハのサイズの高速、非破壊的なインライン測定に専門にします。KLA Puma 9130はマルチセンサプラットフォームを使用して、ウェーハの重要なパラメータを効率的かつ自動的に収集、解釈、文書化する方法を提供します。これには、ピッチ、プロファイル、厚さ、表面トポグラフィーなどのプロセスクリティカルスケーリングパラメータ、および構造および化学情報が含まれます。そのソフトウェアスイートは、リアルタイムデータへの迅速かつ簡単なアクセスを提供し、現在および過去のウェーハのフル機能の分析を可能にします。TENCOR Puma 9130は生産ランの大量かつ高精度な検査用に設計されています。その高解像度カメラと多層光学顕微鏡は、ウェハの表面の顕微鏡のビューを提供します。その高度なアルゴリズムは、傷、汚染物質、結晶変形などの顕微鏡的欠陥を検出することができます。Puma 9130には強力な自動ウェーハハンドリングシステムが搭載されており、セットアップとオペレータの関与を最小限に抑えた連続生産が可能です。そのオートメーションソフトウェアには、使いやすいユーザーインターフェイスも含まれています。システムは既存の生産ラインに統合することができ、すべてのオペレータが短期間で製品に慣れることができます。システム統合機能により、既存の測定システムや生産ライン機械に簡単に接続でき、生産中の変更や調整に迅速に対応できます。さらに、リモートアクセスによりリモートモニターと制御が可能になり、柔軟性が向上し、緊急事態への迅速な対応が可能になります。全体として、KLA/TENCOR Puma 9130は信頼性が高く、正確で高速なウェハテストと計測を提供します。使いやすいソフトウェア、強力なオートメーション、リモートアクセスにより、高品位の半導体を製造するための貴重なツールとなります。