中古 KLA / TENCOR Puma 9130 #293606941 を販売中

KLA / TENCOR Puma 9130
ID: 293606941
Darkfield inspection system.
KLA/TENCOR Puma 9130は、最先端の光学文字認識(OCR)アルゴリズム機能、白色光干渉(WLI)、および熱および機械的プロセスを組み合わせた高度なウェーハ試験および計測機器です。半導体業界の厳しい要件を満たすように設計されています。KLA Puma 9130は、シリコン、石英、シリコンウェーハ、その他の光学構造、電気構造、機械構造など、さまざまな半導体ウェーハ材料の精密で高分解能な測定と試験を可能にします。このシステムには、オペレータが特定の要件に応じて測定値と測定値を調整および変更できるさまざまなパラメータとオプションが装備されています。このユニットは、ユーザーにユニークで高速で経済的で信頼性の高いウェーハのテストと測定方法を提供します。TENCOR Puma 9130は、真の双方向8ビットのデータバスと、詳細な分析と制御のための静的RAMを備えています。このマシンは、高性能の32ビットRISCプロセッサを搭載しており、WLI、熱解析、走査電子顕微鏡(SEM)などの複数のウェハテストおよび計測プロセスをサポートできます。高解像度のWLI画像をリアルタイムで提供し、ドレインホールやステップ高さ測定などの物理的な表面の特徴や欠陥を検出することもできます。Puma 9130はまた、革新的なOCRアルゴリズムを使用して、重要な測定を迅速かつ正確に行います。これは、表面構造とパターン認識データの両方をキャプチャする高速アーキテクチャを使用しています。この機能は、ウェーハ間の測定や大面積の評価など、多くの分析テストに不可欠です。KLA/TENCOR Puma 9130は、自動テスト手順、データ管理、レポート生成など、幅広い機能を提供する強力なホストベースのソフトウェアパッケージです。ソフトウェアにはデータベースツールが内蔵されており、幅広いデータ型をすばやく保存および取得できます。堅牢なパフォーマンスに加えて、KLA Puma 9130はEthernetやUSBなどの幅広いデータ転送プロトコルをサポートしています。このアセットは、電子ビームスキャンや音響顕微鏡などの他のウェーハ試験装置と相互作用するように設計されています。TENCOR Puma 9130は、最も要求の厳しい半導体アプリケーションのニーズを満たす信頼性が高く、信頼性が高く、汎用性の高いモデルです。
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