中古 KLA / TENCOR Puma 9120 #293705738 を販売中
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ID: 293705738
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Darkfield inspection system, 12"
Equipment Front End Module (EFEM)
PC Processor Type: x86, Family 15, Model 4, Stepping 10
Genuine Intel: ~3391 Mhz
Operating system: Windows 2000
(3) Inspection pixel models
Pixel Sizes: sL5, sL8, sL20
Power: 208V, 60Hz, 83A
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9120は、半導体製造用に設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。KLA Puma 9120は、プロセス制御と障害検出のための高速で正確な結果を提供する強力で汎用性の高いシステムです。TENCOR Puma 9120は全自動ユニットです。これは、高速、ビューの小さなフィールド、カラーダークフィールド検査機が装備されており、迅速かつ正確にウェーハやその他のコンポーネントの欠陥を識別し、定量することができます。その高度なソフトウェアは、パーティクルとパターンをインテリジェントに区別することができます。このツールは、サイズ、形状、位置、向き、およびテクスチャを含む3次元で最大128の機能を測定することができます。統合されたMetrologyステーションは、高解像度のイメージングアセットを備えており、最大64個のウェーハを同時に分析できます。これには、さまざまな機能のウェーハ内およびウェーハ間の相関を測定する機能が含まれます。Puma 9120には、測定データの追跡と保存、および各デバイスの設計に関連する歩留まりを正確に予測するための強力なデータ管理モデルも装備されています。KLA/TENCOR Puma 9120はモジュラー装置であり、ユーザーの特定のニーズに合わせて簡単にカスタマイズおよび構成することができます。また、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、オペレータはシステム構成、設定、および測定に簡単にアクセスできます。さらに、その超低振動と音響ノイズレベルは、クリーンルーム環境での使用に適しています。全体として、KLA Puma 9120は、高速で正確な結果を提供し、半導体生産のコストを削減するために設計された高度で汎用性の高いウェーハ試験および計測ユニットです。セットアップ、設定、操作が簡単で、モジュール設計により、特定のアプリケーションに簡単にカスタマイズできます。それはプロセス制御および欠陥検出のための経済的で、信頼できる解決です。
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