中古 KLA / TENCOR Puma 9120 #293659319 を販売中
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販売された
ID: 293659319
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Darkfield inspection system, 12"
(2) Cassettes / FOUP Positions
(3) Inspection pixel models: Sizes (sLXX) sL5, sL8, sL20
Does not include:
Hard Disk Drive (HDD)
Dry pumps
Electrical requirements: 208 VAC, 60 Hz, 83 Amps
Operating system: Windows 2000 5.00.2195 Service Pack 4
PC Processor type: x86 Family 15 Model 4 Stepping 10 GenuineIntel ~3391 Mhz
2007 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9120は、高精度の半導体製造と検査を可能にする最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、マイクロプロセッサ、メモリー、モバイルアプリケーションプロセッサなどの高度な半導体デバイスと、抵抗、ダイオード、トランジスタなどの生産レベルのコンポーネントの両方を検査することができます。KLA Puma 9120は、先進的な光学ユニットとデュアルスキャンヘッドを搭載し、ウェーハ機能の高解像度画像を収集することができます。ウエハテストデータの詳細なレビューを自動化するために、4段階の地形再構築技術と自動欠陥分類ソフトウェアを備えています。この装置は10ナノメートルの小さな欠陥を検出して見つけることができ、各欠陥に関する包括的な統計情報を提供します。このツールは、3Dウェーハトポグラフィ処理、多波長干渉イメージング(MWIP)、ダイナミックバックライティングなど、いくつかの独自のアルゴリズムを使用して、最高レベルの歩留まり制御と検査精度を保証します。TENCOR Puma 9120は、統合された共軸アライメントアセットで設計されています。これにより、スキャン時の画像キャプチャ機能が追加され、1つのパスで複数の画像をキャプチャすることができます。さらに、200mmおよび300mmウェーハを含むさまざまなウェーハサイズに対応し、最大6mmまでのウェーハの厚さを管理できるように設計されています。Puma 9120はまた、低振動レベル、広い温度範囲、低騒音、防塵環境など、多くの健康と安全の利点を提供します。装置はまた液体およびガス状のサンプルの点検に使用することができます。全体として、KLA/TENCOR Puma 9120は、半導体製造および検査プロセスに最適な最先端のウェーハ試験および計測システムです。高度な光学およびデュアルスキャンヘッド、3Dウェーハトポグラフィ処理、多波長干渉イメージング、ダイナミックバックライティング、および同軸アライメントユニットを備えており、最高レベルの精度と歩留まり制御を保証します。また、液体および気体サンプルの検査に適していることを実証し、多くの健康と安全の利点を提供します。
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